（2）可以通过控制蒸汽的入射角来精确控制微纳基底的形状、密度；同时，通过编程也可以控制纳米结构的形状、排列以及取向； （3）可以形成精确控制
（2）可以通过控制蒸汽的入射角来精确控制微纳基底的形状、密度；同时，通过编程也可以控制纳米结构的形状、排列以及取向；
（3）可以形成精确控制的三维形状的纳米结构，如折线形、C形、念珠形以及多层结构堆叠等；
（4）可以用做靶材的材料选择面很广。
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