摘要：伴随微电子技术的快速发展，每一个领域的微电子器件对材料的性能要求也一直提高，有机薄膜晶体管(OTFT)作为一种新兴的微电子器件，因为其低廉的成本优秀的性能拥有巨大的市场价值。对于OTFT，影响器件性能的不仅仅是半导体材料，作为介质层的绝缘材料的作用也是非常重要的。与无机绝缘材料相比，低成本而且更适合柔性衬底的有机绝缘材料更适用于新一代平板。聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)就是能够应用于OTFT生产的优秀绝缘透明薄膜材料之一。

本文分别介绍了PMMA薄膜物理特性，光学特性，化学特性，以及PMMA薄膜的主要应用。主要研究PMMA薄膜的光学特性。先配制了PMMA溶液，再通过旋涂法将PMMA薄膜制备在硅片和普通玻璃上，然后进行清洗，研究了PMMA薄膜的介电特性，并通过实验牙就了有无PMMA薄膜给对硅片和普通玻璃的折射率和反射率产生的影响。通过比较有无薄膜普通玻璃的折射率和反射率，得出研究成果，PMMA薄膜对350nm-500mn范围的光具有增透作用。

关键词：聚甲基丙稀酸甲酯；光学特性；透射率

ABSTRACT：With the rapid development of microelectronics technology,each field of microelectronic devices on the material performance req-quirements has also been improved,organic thin film transistor (OTFT) as a new microelectronic device because of its low cost of excellent performance with huge Market value. For OTFT,the performance of the device is not only the semiconductor material,as the dielectric layer of the role of insulating material is also very important. Compared with inorganic insulation materials,low cost and more suitable for flexible substrate organic insulating material is more suitable for a new generation of flat.Poly (methyl methacrylate) (PMMA) is one of the best insulating transparent film materials that can be used in OTFT production.

In this paper,the physical properties,optical properties,chemical properties and main applications of PMMA films were introd-duced. The optical properties of PMMA films were studied.The PMMA film was prepared by spin coating on the silicon wafer and the ordinary glass.Then,the dielectric properties of the PMMA film were studied. The PMMA film was used to study the dielectric p-roperties of the PMMA film.And the influence of the refractive index and reflectivity of ordinary glass.By comparing the refr-active index and reflectance of ordinary glass,the PMMA film has the effect of enhancing the light in the range of 350nm-500mn.

Key words:polymethyl acrylate;The optical properties;The refractive index

目录

第一章简述绝缘材料在微电子领域的应用和研究 1

1.1简述绝缘材料在微电子领域的应用和研究 1

第二章简述PMMA薄膜材料的定义、性能与应用 3

2.1PMMA薄膜材料概述 3

2.2PMMA薄膜的性能与应用 3

2.2.1物理性能 3

2.2.2光学性能 4

2.2.3化学性能 4

2.2.4应用 4

2.3PMMA薄膜在电学和光学方面的研究 4

2.3.1PMMA电学特性方面的研究 4

2.3.2PMMA作为光学薄膜的研究 6

第三章PMMA薄膜在太阳能电池上的实验研究 7

3.1聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）溶液配制 7

3.2PMMA薄膜制备 7

3.3清洗 7

3.4实验 8

结束语 11

致谢 12

参考文献 13

第一章简述绝缘材料在微电子领域的应用和研究

1.1简述绝缘材料在微电子领域的应用和研究

快速发展的微电子技术是21世纪科技领域的重要技术之一。晶体管作为可变电流开关的半导体器件，通常应用于微电子技术、通信技术及平板显示技术之中。通过控制输入回路电压来控制出回路电流的半导体有源器件，主要应用于大规模及超大规模集成电路中[1]。绝缘层对场效应管的性能影响是非常重要的，而Si02—直是微电子技术中应用最通用的无机绝缘材料。作为MOSFET中的介质层或是隔离层，其理论研究和生产技术都十分成熟，但随着市场需求的多元化，Si02已不能很好地满足每个领域的性能要求，人们便寻求可以替代Si02的绝缘材料。在大规模集成电路领域中，场效应晶体管尺寸必须不断缩小，栅介质厚度则需要随沟道长度的缩小而减薄，这样会造成隧穿电流增加[2，3]。遂穿电流的增加使有效栅电容下降，还使集成电路关态功耗的增加。当MOS晶体管沟道长度缩小到0.1μm以下时，传统的Si02栅介质已经满足不了集成电路发展的基本需要，人们开始研究新型栅介质材料，其中最有代表性的是以高K绝缘材料作为MOSFET的栅介质[4]。